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晶圆种类有哪些?
分类:
新闻资讯
作者:
Jennifer
来源:
聚德伟业
发布时间:
2024-05-27
【摘要】:
晶圆的规格有哪些?

晶圆有多种规格和种类,以下是一些常见的晶圆规格和种类:
1. 直径:晶圆的直径是最常用的规格之一,常见的直径包括:
- 200mm:也被称为8英寸晶圆。
- 300mm:也被称为12英寸晶圆。
- 150mm、100mm、75mm、50mm等。
2. 厚度:晶圆的厚度通常是在制造过程中控制和调整的,常见的厚度范围包括:
- 650μm:在比较早期的制程中常见。
- 550μm、450μm、380μm:随着技术的进步和制程的缩小,厚度也逐渐减少。
- 超薄晶圆:一些先进的制程中,晶圆的厚度可以远远小于传统厚度,如薄至100μm以下。
3. 衬底材料:晶圆的衬底材料也有多种类型,常见的有:
- 硅(Si):最常见的晶圆衬底材料,广泛应用于半导体制造。
- 碳化硅(SiC):用于高功率电子器件和光电子器件的制造。
- 氮化镓(GaN):用于LED和高功率电子器件的制造。
- 蓝宝石(Al2O3):用于光电子器件的制造。
4. 结构类型:晶圆的结构类型也有一些常见的分类,包括:
- 纯晶圆(SOI):具有一定厚度的绝缘层,常用于高性能集成电路的制造。
- 堆叠晶圆:由多个晶圆层叠而成,用于三维封装和集成。
- 复合晶圆:整合不同材料的晶圆,实现特定应用需求。
这只是一些常见的晶圆规格和种类,实际上还有很多其他的规格和种类,以满足不同应用领域的需求。
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