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晶圆厂中dummy片,测试片,真片的区别是什么?
分类:
新闻资讯
作者:
简妮
来源:
聚德伟业
发布时间:
2024-06-21
【摘要】:
晶圆厂中dummy片,测试片的区别是什么?
有了解到晶圆厂中有dummy wafer,test wafer,真片的叫法,这几种片子各自有什么作用吗?
dummy wafer
dummy的英文直译为“假的,仿真的”,dummy wafer也可以叫做假片。一般是没有图形,或只有若干层图形,主要的应用场景:
1,用于半导体设备的调试和校准,确保设备在正式生产前处于最佳状态。
2,在引入新工艺或调整现有工艺时,使用dummy片进行测试和优化,减少对量产片造成的风险。
test wafer
测试片(工程片)具有完整的工艺流程,包含了各种图形和结构的晶圆。主要作用:
1,在新的芯片产品导入过程中,使用测试片验证和优化新产品的制造工艺,最终实现量产。
2,当产线上的量产晶圆出现工艺问题时,做相应的DOE试验以改善工艺。
量产晶圆
量产晶圆用于生产需要给客户出货的半导体器件等,量产晶圆在生产过程中进行严格的质量控制,确保产品符合客户要求能要求。
为什么要分这几类晶圆?

主要是从成本与重要性考虑。成本/重要性:量产晶圆>test wafer>dummy wafer.量产晶圆是要出货给客户,是整个公司的经济命脉,因此要保证量产晶圆高质高量地完成生产任务。工艺参数,工艺流程相对比较固定。任何改动都要确保100%的安全性。因此衍生出了一些成本较低,灵活性较强的dummy wafer,ENG wafer以避免对量产晶圆的浪费!
在半导体行业中,我们考虑的主要方面包括成本与重要性。针对不同类型的晶圆,其成本与重要性的排序大致为:量产晶圆>test wafer>dummy wafer。 首先,量产晶圆无疑是公司的经济命脉。这些晶圆是要直接出货给客户的,它们的质量、数量以及交货期都直接关系到公司的声誉与利润。因此,对于量产晶圆的生产任务,我们必须保证高质量、高效率地完成。由于量产晶圆的生产工艺参数和流程都经过严格的验证和优化,相对比较固定,任何细微的改动都可能对最终的产品品质产生重大影响。因此,在调整工艺参数或流程时,我们必须确保100%的安全性,避免任何可能的风险。 然而,在实际的生产过程中,我们往往需要进行一些实验或测试,以验证新的工艺参数或流程的可行性。为了避免对量产晶圆造成浪费,我们衍生出了一些成本较低、灵活性较强的晶圆类型,如dummy wafer和ENG wafer。这些晶圆主要用于实验和测试目的,其成本相对较低,而且我们可以根据实际需求灵活地调整其生产工艺。通过在这些晶圆上进行实验和测试,我们可以收集到大量的数据,为后续的量产晶圆生产提供有力的支持。 总的来说,从成本与重要性考虑,我们需要在保证量产晶圆高质高量完成生产任务的同时,充分利用dummy wafer和ENG wafer等低成本、高灵活性的晶圆类型进行实验和测试。这样既能保证公司的经济效益,又能为技术创新和产品升级提供有力的支撑。
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