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一文读懂UVC LED 外延设备——MOCVD！
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新闻资讯
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发布时间：
2020-06-28
【摘要】：
MOCVD，Metal-Organic Chemical Vapor Deposition 的缩写，中文简称“金属有机化合物化学气相沉积”，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
1968年，北美航空公司（罗克韦尔公司的前身）发明了MOCVD。早期的MOCVD设备只供内部使用，用于在衬底上生长三五族材料，第一台正式对外销售的MOCVD系统出现在20世纪80年代。如今，MOCVD已经发展成为市场上几种沉积技术的重要成员，LED产业是MOCVD设备的最大市场。UV LED作为LED产业重要的一员，其生产制造自然也离不开MOCVD设备。
UV LED MOCVD设备是⻓周期的供需关系，从下订单到交货的周期一般为6个月-1年，调试1-2个月。UV LED，特别是深紫外的UVC LED在生长温度、生长效率、和对铝组分的有效利用方面对MOCVD设备提出了很高的要求。因此，目前市场也仅有少数企业能够生产UVC LED MOCVD设备。
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