DISCO TAIKO工艺区别

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发布时间:

2022-06-10

【摘要】:

TAIKO工艺的区别

TAIKO工艺

TAIKO工艺,是DISCO公司开发的晶片背面研削的新技术。这项技术和以往的背面研削不同,在对晶片进行研削时,将保留晶片外围的边缘部分(约3mm左右),只对圆内进行研削薄型化。通过导入这项技术,可实现降低薄型晶片的搬运风险和减少翘曲的作用。

“TAIKO工艺”的优点

通过在晶片外围留边

  • 减少晶片翘曲
  • 提高晶片强度

晶片使用更方便
薄型化后的通孔插装,配置接线头等加工更方便

不使用硬基体等类似构造而用一体构造的优点

  • 晶片薄型化后需要高温工序(镀金属等)时,没有脱气现象发生
  • 因为是一体构造,形状单一,可降低颗粒带入现象

研削时不在外围区域负重的优点

  • 研削外围区域有梯状的晶片更方便
  • 崩角现象为零

TAIKO工艺流程图

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