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怎样生产制造晶圆扩膜机
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发布时间：
2022-04-24
【摘要】：
怎样生产制造晶圆扩膜机
晶圆扩膜机设计原理：晶圆片扩膜机是一种扩膜夹紧装置,包括上基座,下基座,上压板和下压板,上,下基座之间设有导向杆和驱动杆,导向杆的两端分别与上,下基座垂直连接,驱动杆的下端转动限制在下基座中,上端贯穿上基座并通过联轴器与驱动电机的输出轴固连,驱动杆的杆体设有螺纹旋向相反的第一丝杆部和第二丝杆部,上压板和下压板各自的侧部连接有导向套和驱动套,导向套套设在导向杆外侧,驱动套螺接在第一丝杆部或第二丝杆部的外侧;上,下压板分别设有压框,利用两压框的半径差来对晶圆片的蓝膜进行夹紧.本实用新型结构设计合理,利用丝杆传动原理驱动上压板和下压板相互靠近或相互远离,具有快速,准确的优点,保障扩膜效率.
选用晶圆扩膜机需要注意的事项：请提供你的扩晶环内环外环尺寸，你使用的膜种类。联系深圳市德胜兴电子有限公司定制：13823605006 胡工
《摘自专利部分》
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