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扫描式UV解胶机 来回照半导体专用

扫描式UV解胶机均匀地使半导体晶圆片从UV膜蓝膜上脱胶出来

所属分类

UV解胶机

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  • 产品描述
  • 扫描式UV解胶机、往复式UV解胶机、来回紫外线固化光源UV解胶机

    特点:均匀解胶

      LED  UV照射机 定制热线:18928278160

    (DSXUV-1215IS-L)

    1. 主要规格
      1. 框架尺寸:6,8,12英寸
      2. 膜种类:UV膜
      3. 晶圆规格: 12英寸及以下
      4. 照射光源:LED 紫外光源 冷光源 波长365nM。
      5. 放射强度:600-1000mW/cm2
      6. 放置治具:6,8,12可以互相切换
      7. 装卸方式:手动取放。
      8. 产品定位:定位销定位
      9. 电力供应:220V 350W 8A
      10. 体积(宽*深*高):645mm*620mm*195mm
      11. 净重:40kg
    2. 设备性能
      1. PLC +触摸屏 软件控制。
      2. 照射时间1-999S设定。
      3. 每小时产能:一般产品可200片左右
      4. 预充氮气设定。
    关键词:
    • 扫描式UV解胶机
    • 往复式UV解胶机