什么是晶圆扩膜机?

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2022-07-05

【摘要】:

 晶圆扩膜机是用于切割制程之后,将膜均匀拉伸,从而使切割后的芯片分离,并均匀拉开一定距离的设备。采用伺服电机的扩膜方式,扩膜高度及速度可在配置的触摸屏中参数化进行设置。晶圆扩膜机有多种叫法称呼:扩晶机、LED扩晶机、LED扩膜机、晶粒扩张机、晶圆扩晶机、扩晶环扩晶机、塑料环扩膜机、晶片扩张机、晶片扩片机、6寸扩晶机、8寸扩晶机、10寸扩晶机、12寸扩晶机、半自动晶圆扩膜机、手动扩晶机。

  什么是晶圆扩膜机?

  晶圆扩膜机是用于切割制程之后,将膜均匀拉伸,从而使切割后的芯片分离,并均匀拉开一定距离的设备。采用伺服电机的扩膜方式,扩膜高度及速度可在配置的触摸屏中参数化进行设置。晶圆扩膜机有多种叫法称呼:扩晶机、LED扩晶机、LED扩膜机、晶粒扩张机、晶圆扩晶机、扩晶环扩晶机、塑料环扩膜机、晶片扩张机、晶片扩片机、6寸扩晶机、8寸扩晶机、10寸扩晶机、12寸扩晶机、半自动晶圆扩膜机、手动扩晶机。

  在半导体集成电路芯片制作中的切割制程后,将切割/分割后的芯片背面所贴的膜用扩张环固定,利用工作台的上升,使膜向X-Y方向均匀扩张,从而带动芯片扩张至任意间隔,大大方便了芯片切割/分割制程后的处理。

  晶圆扩膜机常见机器用途:晶圆扩膜机也叫晶片扩张机或扩片机。被广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序。例如LED行业,晶粒扩膜机将紧密的LED晶片均匀分开,使之更好地植入焊接工件上。它利用LED薄膜的加热可塑性,采用双缸上下控制,将单张LED晶片均匀地向四周扩散,达到满意的晶片间隙后自动成型,膜片紧绷不变形。恒温设计陶盘,操作简单易懂。

  从晶圆上切割出半导体集成电路芯片的切割制程之后,芯片和芯片之间的缝隙很小,会导致芯片和芯片之间碰撞产生崩边,造成浪费。扩膜机可以简单快速地将切割后的芯片向X-Y方向扩张,芯片之间的间距均匀地增大到所需的尺寸,将芯片分离,避免芯片与芯片碰撞损伤从而得到完好的集成电路芯片。带加热且温度可调的工作台设计,可令扩膜效果更好,且可大大提高扩膜高度,以满足不同的客户需求。扩膜高度可调。护膜速度可调。工作台温度可调。

  应用领域:晶圆扩膜设备适用于IC、Diode、Transistor、Glass、LED、QFN、PCB等产业,适用于半导体集成电路芯片制作中切割制程后的扩张或拉伸工艺。晶圆扩张机系列产品是专门用于晶圆、LED等的切割后的扩膜工序,配备进口导轨,温控系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距晶圆扩膜机型号目前有:6寸扩膜机、8寸扩膜机、10寸扩膜机、12寸扩膜机、半自动晶圆扩膜机、手动扩膜机、定制尺寸请联系胡工13823605006

 

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