wafer硅片晶粒如何扩大间距?为什么要用晶圆扩晶机?

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聚德伟业

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【摘要】:

晶圆扩膜机


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一、效果如图

wafer硅片晶粒扩晶操作前后,切割道距离均匀性和效果,便于后续操作。

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扩晶前

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扩晶后

二、为什么要用扩晶机?

因为晶粒切割道就那么宽,分拣某一粒的时候,有可能会碰到四周的晶粒,那,用到晶圆扩晶机扩膜后,后道工序能更好的拾取晶粒,避免相互碰撞,保护晶粒。

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显微镜下破损产品

用完扩晶机后

颗粒间距增大,避免四周碰撞,保护晶粒。

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三、后续工序适配

固晶机、分选机等等

 

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